RLD10 saroktükrös interferométer

Saroktükrös interferométerek nagy hatótávolságú és nagy sebességű alkalmazásokhoz.

Az RLD10 detektorfejek adnak helyet az interferométeres optikának, egy egyedülálló, többcsatornás interferenciacsík-érzékelő rendszernek, az optikai rekesznek és az integrált sugárterelőnek. Az RLD10 érzékelőfej 0° és 90°-os változatban egyaránt kapható.

Jellemzők és előnyök

  • Többtengelyes megoldások - az egy- és kéttengelyes saroktükrös rendszerek ideális megoldást jelentenek többtengelyes alkalmazásokhoz.
  • Nagy hatótávolság és sebesség - a saroktükrös interferométeres érzékelőfejekkel olyan, megnövelt hatótávolságú vagy nagyobb sebességű alkalmazások is megvalósíthatók, amelyekhez a síktükrös interferométerek nem alkalmasak.
  • Érzékeny környezetek - kis teljesítményű változatban is kapható, ami ideális választás olyan alkalmazásokhoz, ahol a normál kivitelű RLD10 egység < 2 W-os értékénél kisebb leadott teljesítmény szükséges.

Műszaki adatok

Tengely elmozdulása0–4 m
Felbontás (RLU-val konfigurálva)

Analóg négyszögjel = λ/2 (316 nm)
Digitális négyszögjel = 20 nm
RPI20 felbontás = 77,2 pm

Rendszer egyenes vonalúsági hibája* (osztás alatti hiba, SDE)

*interfész nélkül

<±5 nm 100 mm/s sebesség alatt >70% jelerősséggel
<±13 nm 2 m/s sebességnél >50% jelerősséggel
Maximális sebességMax. 2 m/s

4 méternél hosszabb tengelyekhez figyelmébe ajánljuk HS20 lézeres útmérőrendszerünket, amely akár 60 m hosszúságú tengelyeknél is problémamentesen használható.

Nem vákuumos alkalmazások során a pontosság megőrzéséhez változó környezeti körülmények mellett valamilyen módon a törésmutató kompenzálására van szükség. Az ilyen eltérések kompenzálására a Renishaw az RCU10 valós idejű négyszögjel-kompenzációs rendszert kínálja. A Renishaw által szállított saroktükrök nem feltétlenül alkalmasak vákuumos vagy vákuumközeli környezetben történő alkalmazásra.

Az RPI20 párhuzamos interfészt az RLE rendszerbe építve (síktükrös konfiguráció) akár 38,6 pikométeres felbontás is elérhető. Digitális kimenet esetében a felbontás növeléséhez az REE sorozatú Renishaw interpolátorok használhatók, amelyek 0,395 nm-ig terjedő felbontást tesznek lehetővé (síktükrös konfiguráció). Ez az interfész differenciális analóg 1 Vpp-s szinusz / koszinusz jeleket fogad, és párhuzamos formátumú kimeneti jeleket ad. A tartozékokkal kapcsolatos további tájékoztatásért lásd: RCU10 kompenzációs rendszer és lézeres útmérő-interfészek

Termékinformációk