RLD10 síktükrös interferométer

Síktükrös interferométerek két irányban (XY) pozicionálható mérőállványos alkalmazásokhoz.

Az RLD10 detektorfejek adnak helyet az interferométeres optikának, egy egyedülálló, többcsatornás interferenciacsík-érzékelő rendszernek, az optikai rekesznek és az integrált sugárterelőnek. Az RLD10 érzékelőfej 0° és 90°-os változatban egyaránt kapható.

Jellemzők és előnyök

  • Kéttengelyes megoldások - a kéttengelyes síktükrös rendszerek ideális megoldást jelentenek a két irányban pozicionálható (XY) mérőállványos alkalmazásokhoz.
  • Nagy felbontás - a síktükrös rendszerek olyan alkalmazásokhoz is használhatók, ahol a saroktükrös rendszerekénél nagyobb felbontásra van szükség.
  • Érzékeny környezetek - a síktükrös interferométeres érzékelőfejek kis teljesítményű változatban is választhatók. Ideális választás olyan alkalmazásokhoz, amelyeknél a normál kivitelű RLD10 típus < 2 W-os értékénél kisebb leadott teljesítmény szükséges.
RLD érzékelőfejek tükrökkel

Műszaki adatok

Tengely elmozdulása0–1 m
Felbontás (RLU-val konfigurálva)

Analóg négyszögjel = λ/4 (158 nm)
Digitális négyszögjel = 10 nm
RPI20 felbontás = 38,6 pm

Rendszer egyenes vonalúsági hibája* (osztás alatti hiba, SDE)

*interfész nélkül

<±2,5 nm 50 mm/s sebesség alatt >70% jelerősséggel
<±7,5 nm 1 m/s sebességnél >50% jelerősséggel
Maximális sebességMax. 1 m/s


Nem vákuumos alkalmazások során a pontosság megőrzéséhez változó környezeti körülmények mellett valamilyen módon a törésmutató kompenzálására van szükség. Az ilyen eltérések kompenzálására a Renishaw az RCU10 valós idejű négyszögjel-kompenzációs rendszert kínálja.

Az RPI20 párhuzamos interfészt az RLE rendszerbe integrálva akár 38,6 pikométeres felbontás is elérhető. Ez az interfész differenciális analóg 1 Vpp-s szinusz / koszinusz jeleket fogad, és párhuzamos formátumú kimeneti jeleket ad. A tartozékokkal kapcsolatos további tájékoztatásért lásd: RCU10 kompenzációs rendszer és lézeres útmérő-interfészek.

Termékinformációk