RLD10 síktükrös interferométer
Síktükrös interferométerek két irányban (XY) pozicionálható mérőállványos alkalmazásokhoz.
Az RLD10 detektorfejek adnak helyet az interferométer-optikának, egy egyedülálló, többcsatornás interferenciacsík-érzékelő rendszernek, az optikai rekesznek és az integrált sugárterelőnek. Az RLD10 érzékelőfej 0° és 90°-os változatban egyaránt kapható.
Jellemzők és előnyök
- Kéttengelyes megoldások - a kéttengelyes síktükrös rendszerek ideális megoldást jelentenek a két irányban pozicionálható (XY) mérőállványos alkalmazásokhoz.
- Nagy felbontás - a síktükrös rendszerek olyan alkalmazásokhoz is használhatók, ahol a saroktükrös rendszerekénél nagyobb felbontásra van szükség.
- Érzékeny környezetek - a síktükrös interferométeres érzékelőfejek kis teljesítményű változatban is választhatók. Ideális választás olyan alkalmazásokhoz, amelyeknél a normál kivitelű RLD10 típus < 2 W-os értékénél kisebb leadott teljesítmény szükséges.
Műszaki adatok
| Tengely elmozdulása | 0–1 m |
| Felbontás (RLU-val konfigurálva) | Analóg négyszögjel = λ/4 (158 nm) |
Rendszer egyenes vonalúsági hibája* (osztás alatti hiba, SDE) *interfész nélkül | <±2,5 nm 50 mm/s sebesség alatt >70% jelerősséggel <±7,5 nm 1 m/s sebességnél >50% jelerősséggel |
| Maximális sebesség | Max. 1 m/s |
Nem vákuumos alkalmazások során a pontosság megőrzéséhez változó környezeti körülmények mellett valamilyen módon a törésmutató kompenzálására van szükség. Az ilyen eltérések kompenzálására a Renishaw az RCU10 valós idejű négyszögjel-kompenzációs rendszert kínálja.
Az RPI20 párhuzamos interfészt az RLE rendszerbe integrálva akár 38,6 pikométeres felbontás is elérhető. Ez az interfész differenciális analóg 1 Vpp-s szinusz / koszinusz jeleket fogad, és párhuzamos formátumú kimeneti jeleket ad. A tartozékokkal kapcsolatos további tájékoztatásért lásd: RCU10 kompenzációs rendszer és lézeres útmérő-interfészek.
Termékinformációk
Ez is érdekelheti
