VIONiC™ útmérősorozat

A VIONiC útmérő sorozat a Renishaw legnagyobb teljesítményű inkrementális optikai útmérője. Közvetlen digitális helyzet-visszacsatolást biztosít kiemelkedő méréstechnikával, nagy sebességgel és kiváló megbízhatósággal. A VIONiC olvasófej integrálja a Renishaw már bizonyított szűrőoptikáját és korszerű interpolációs technológiáját. Ez ultra-alacsony osztás alatti hibát (SDE) biztosít, anélkül, hogy további adapterekre vagy külön csatlakozókra lenne szükség.

Ráadásul a VIONiC olvasófejek lineáris, részleges köríves és forgó skálák széles választékával kompatibilisek, az alacsony hőtágulású ZeroMet™ skálától a nagy pontosságú REXM gyűrűkig. Ez teszi a VIONiC sorozatot a sokoldalúság és a kiváló méréstechnika tekintetében a legjobb választássá.

Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE)

Osztás alatti hiba (SDE) piktogram

A VIONiC útmérősorozat a Renishaw már bevált szűrőoptikáját és jelfeldolgozását integrálja a kiváló méréstechnikai teljesítmény érdekében. A fejlett interpolációs technológia jellemzően < ±15 nm-es, ultra-alacsony osztás alatti hibát (SDE) biztosít; ez a legalacsonyabb érték a Renishaw optikai útmérők között.


Nagy sebességű működés finom felbontással

Sebesség piktogram

A VIONiC olvasófej intelligens interpolációs chipje akár 2,5 nm-es felbontást is biztosít, így nagy pontosságot és megismételhetőséget biztosít bármilyen alkalmazásban. Az útmérő maximum 50 MHz-es órajellel kapható, és akár 12 m/s sebességgel is működik. Akár 3,63 m/s sebesség is elérhető 0,1 µm es felbontás mellett, ami a félvezetõk gyártási folyamataiban ideális a teljesítmény maximalizálásához.


Professzionális diagnosztikai eszköz

Opcionális ADT piktogram

A VIONiC útmérők intuitív automatikus kalibrációs üzemmódja megkönnyíti a telepítést. A telepítés során vagy a helyszíni diagnosztikához rendelkezésre áll egy valós idejű útmérőadat-visszacsatolást biztosító, opcionális ADTi-100 professzionális diagnosztikai eszköz is.

Találja meg az ideális VIONiC skálát

Lineáris

Skálatípus

Skála neve

Pontosság

Skálaosztás

Hőtágulási együttható 20 °C-on

Skála max. hossza

Rozsdamentes acél szalag pályaopcióval

RTLC20 FASTRACK skála

RTLC20 opcionális FASTRACK pályával

±5 µm/m

20 µm

10,1 ±0,2 µm/m/°C

10 m-ig (> 10 m kérésre)

Keskeny, rozsdamentes acél szalagskála

RKLC20 skála

RKLC20-S

±5 µm/m20 µm

A szalag végeit rögzítő leszorítók használatakor a hordozó felület anyagáéval azonos

20 m-ig (> 20 m kérésre)

ZeroMet mérőléc

RELM RSLM skála

RELM/RELE1 m-ig ±1 µm, e felett ±1 µm/m20 µm0,75 ±0,35 µm/m/°C1,5 m-ig

Rozsdamentes acél mérőléc

RELM RSLM skála

RSLM20/RSLE20/RSLC20

1 m-ig ±1,5 µm, 2 m-ig ±2,25 µm, 3 m-ig ±3 µm, 5 m-ig ±4 µm20 µm10,1 ±0,2 µm/m/°C5 m-ig

Részleges körív

Skálatípus

Skála neve

Pontosság

Skálaosztás

Hőtágulási együttható 20 °C-on

Szállított hosszúság

Rozsdamentes acélból készülő, keskeny, részleges köríves szalag

RKLC részleges köríves skála

RKLC20-S


±5 µm/m

20 µm

10,1 ±0,2 µm/m/°C

20 m-ig (> 20 m kérésre)

Forgó

Skálatípus

Skála neve

Pontosság (a gyűrű átmérőjétől függően)

Skálaosztás

Hőtágulási együttható 20 °C-on

Gyűrű átmérője

Rozsdamentes acél gyűrű

RESM-REST skála (skála oldala)


RESM20/REST20



Beosztás pontossága: ±3,97 és ±0,38 szögmásodperc között

20 µm

15,5 ±0,5 µm/m/°C

52–550 mm

Különlegesen nagy pontosságú rozsdamentes acél gyűrű

REXM skála (skála oldala)
REXM20/REXT20

Beépítés utáni pontosság:

(≥ 100 mm átmérő) ±1 szögmásodperc
(75 mm átmérő) ±1,5 szögmásodperc
(≤ 57 mm átmérő) ±2 szögmásodperc

20 µm15,5 ±0,5 µm/m/°C52–417 mm

Opcionális ADTi-100 professzionális diagnosztikai eszköz

ADTi-100 professzionális diagnosztikai eszköz

A VIONiC útmérő rendszer kompatibilis az ADTi‑100 professzionális diagnosztikai eszközzel és az ADT View szoftverrel. Átfogó, valós idejű útmérőadat-visszacsatolást biztosítanak, segítve a komolyabb telepítési és diagnosztikai kihívást jelentő feladatokat. Az intuitív szoftveres kezelőfelület az alábbiakra használható:

  • Távoli kalibrálás
  • Jeloptimalizálás a teljes tengelyhosszon
  • Olvasófej osztásának jelzése
  • Határ- és referenciajelek jelzése
  • Az útmérő pozíciójának digitális kiolvasása (a skálához képest)
  • A sebesség–idő grafikon monitorozása
  • Adatok exportálása és mentése

Főbb jellemzők

Sebesség

Órajeles kimenet opció (MHz)Maximális sebesség (m/s)Minimális élelválasztás* (ns)
D (5 μm)X (1 μm)Z (0,5 µm)W (0,2 µm)Y (0,1 µm)H (50 nm)M (40 nm)P (25 nm)I (20 nm)O (10 nm)Q (5 nm)R (2,5 nm)
501212127,253,631,811,450,9060,7250,3630,1810,09125,3
401212125,802,901,451,160,7250,5800,2900,1450,07331,8
2512129,063,631,810,9060,7250,4530,3630,1810,0910,04551,2
2012128,063,221,610,8060,6450,4030,3220,1610,0810,04057,7
121210,365,182,071,040,5180,4140,2590,2070,1040,0520,02690,2
10128,534,271,710,8500,4270,3410,2130,1710,0850,0430,021110
08126,913,451,380,6900,3450,2760,1730,1380,0690,0350,017136
06125,372,691,070,5400,2690,2150,1340,1070,0540,0270,013175
04123,631,810,7300,3600,1810,1450,0910,0730,0360,0180,009259
014,530,9100,4500,1800,0900,0450,0360,0230,0180,0090,0050,0021038

*1 m-es kábelhosszúságú olvasófejhez

Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE)

Interpolált hiba – 10 hibaciklus

VIONiC™ Osztás alatti hiba (SDE)


X tengely: Az olvasófej pozíciója (mm)

Y tengely: Hiba (nm)