TONiC™ UHV inkrementális útmérő rendszer RTLC20 lineáris skálával

Jellemzők

  • Olvasófej mérete: 35 x 13,5 x 10 mm
  • 1 nm-ig terjedő felbontás
  • 10 m/s maximális sebesség
  • Analóg vagy digitális kimenetek
  • Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE): jellemzően <±30 nm
  • Ügyfél által választható optikai IN-TRAC™ referenciajel

Előnyök

  • Ultramagas vákuumban használható (UHV)
  • A szalagskálák által nyújtott kényelem, páratlan strapabírással ötvözve
  • Hordozó típusú skálarendszer a skálák könnyű és gyors telepítéséhez és cseréjéhez
  • Szuperkompakt útmérő dinamikus jelkondicionálással a jobb mozgásvezérlés eléréséhez
  • Diagnosztikai készlet
Átlátszó mező az oldalon lévő hirdetőszalagok számára

Mi a TONiC UHV?

A TONiC UHV a Renishaw szuperkompakt, érintésmentes optikai útmérő rendszerét a rendkívül nagy vákuumú alkalmazásokban is elérhetővé teszi, amivel jobb mozgásvezérlési lehetőségeket kínál az ügyfeleknek.
A TONiC akár 10 m/s sebességet és a Ti interfésszel együtt használva lineáris és forgó alkalmazásokban is 1 nm-ig terjedő felbontást tesz lehetővé. A TONiC rendszerek széles beállítási tűrésük és egyetlen gombnyomásra kalibrálható kivitelük révén könnyen és gyorsan telepíthetők. A TONiC dinamikus jelfeldolgozása fokozott jelstabilitást biztosít nagyon alacsony, jellemzően <±30 nm osztás alatti hiba mellett, ezzel segítve a kimagasló mozgásvezérlési teljesítmény elérését.

Mi az RTLC20 skála?

Az RTLC20 egy alacsony profilú rozsdamentes acél szalagskála, amely 20 µm-es osztású, és az ügyfél által választható IN-TRAC referenciajellel rendelkezik. Pontossága ±5 µm/m, és 10 méterig terjedő hosszúsággal kapható (> 10 méter kérésre). Kétféle rögzítési lehetőség áll rendelkezésre, amelyek közül mindkettő az alapfelületétől független hőtágulást és a szalagskálák kínálta kényelmet kínál.
Az RTLC20 használható a forradalmi FASTRACK™ skálatartó rendszerrel is. A rendszer használatakor az útmérőpálya gyorsan és könnyen, rögzítőfuratok nélkül fektethető le. A szalagskála egy ideiglenes célú távtartó eltávolítása után fűzhető be az útmérőpályába.
Az RTLC20-S a hátoldalán lévő öntapadós szalaggal rögzíthető a hordozó felületre. Az öntapadó anyag olyan kialakítású, hogy lehetővé teszi a skála hordozó felülettől független tágulását.
A beszerelés befejezéséhez mindkét skálatípust egy ponton kell leszorítással rögzíteni, ezáltal létrehozva egy referenciapozíciót.

Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?

Ultramagas vákuumban használható (UHV)

A TONiC UHV olvasófejek a normál TONiC egységek kiemelkedő teljesítményét biztosítják egy olyan olvasófejben, amelyet UHV-kompatibilis anyagok felhasználásával terveztek és készítettek olyan eljárásokkal, amelyek alkalmassá teszik akár 10 -10 Torr vákuumban, UHV körülmények között történő használatra is.
A TONiC UHV útmérők és tartozékok skálája vákuumban is használható anyagok és ragasztók felhasználásával készült, amelyeket kis mértékű gázkibocsátás jellemez, és a maradékgáz-elemzés (RGA) eredménye is igazoltan rendkívül tiszta. Ezáltal számos különféle alkalmazásban használhatók, például a félvezető-ostyák kezelése/ellenőrzése során, tudományos műszerekben, spektroszkópiás méréseknél, vákuumos vizsgálóberendezésekben és még sok más területen.

Könnyen eltávolítható skála

Az RTLC20/FASTRACK ideális olyan alkalmazásokban, ahol a berendezést szállításhoz szét kell szerelni, vagy a skálát az áthelyezés céljából be vagy ki kell szerelni. A skála kihúzható a vezetősínekből, és gyorsan kicserélhető – még korlátozott hozzáférés esetén is –, ezáltal csökken a gép állásideje.

Maximális megbízhatóság és teljesítmény kis méretben

A tökéletes megbízhatóság és egyenletes teljesítmény érdekében a TONiC olvasófejek harmadik generációs szűrőoptikát tartalmaznak, amelyet a korábbinál még alacsonyabb zajra (remegésre) hangoltak, és tovább tökéletesítettek az automatikus erősítésszabályozást és automatikus eltolásszabályozást is tartalmazó dinamikus jelfeldolgozással. A fenti funkciók – teljesen az olvasófejbe épített – kombinációja páratlan tisztaságú jeleket és rendkívül alacsony osztás alatti hibaértéket (csak ±30 nm) biztosít. Mindez finomabb sebességszabályozást eredményez a jobb szkennelési teljesítmény és a jobb helyzetstabilitás érdekében, amelyek révén a vákuumban lévő motorok felmelegedése minimálisra csökken; ezáltal a vákuumos alkalmazások szempontjából lényeges paraméterek mindegyike rendelkezésre áll egy kompakt olvasófejben.

Gyorsabb és egyszerűbb beépítés

Az olvasófejen lévő beállító LED vizuálisan jelzi a jel méretét, az opcionális diagnosztikai készlet pedig lehetővé teszi a rendszerteljesítmény távoli ellenőrzését, amikor az olvasófej a gép munkaterében van. A referenciajel és az inkrementális jelek kalibrálása egy gombnyomással történik mindenféle mechanikai beállítás vagy további diagnosztikai eszközök nélkül. A felhasználó által kiválasztható IN-TRAC optikai referenciajel az inkrementális skálába van beágyazva a kompakt kivitel és egyszerű beállítás érdekében. Ezzel olyan referenciajel nyerhető, amely a felbontás egységének megfelelő ismétlési pontosságot garantál a teljes üzemi hőmérsékleti és sebességtartományban, mindkét irányban.

Interfész-opciók

TD (kettős felbontású) interfész

  • Választható kettős felbontású négyszögjel-kimenet. Ti interfész (négyzet)
  • Ideális olyan alkalmazások esetén, amelyeknél nagy sebességű és precíziós mozgás kombinációja szükséges.

DOP (kettős kimenetű) interfész

  • Egyidejű digitális négyszögjeleket és 1 Vpp jeleket biztosít.
  • Egy vagy több művelet mozgótengellyel történő szinkronizálását igénylő alkalmazásokhoz készült.TONiC kettős kimenetű (DOP) interfész

Külön rendelhető diagnosztikai készlet

TONiC™ diagnosztikai készlet (szoftver és hardver)

A TONiC diagnosztikai szoftver segítségével optimalizálható a TONiC útmérők telepítése, és a rendszer gyors és átfogó módon kalibrálható. A szoftvert a TONiC diagnosztikai hardverrel együtt kell használni, amely A-9411–0011 cikkszámon szerezhető be a Renishaw-tól. A hardver USB-kábellel (a készlet tartalmazza) csatlakoztatható a számítógéphez, vagy sorosan az ügyfelek elektronikai rendszeréhez.

Tudjon meg mindent a TONiC diagnosztikai készletről.

Műszaki adatok

Mérési szabvány

FASTRACK RTLC20: rozsdamentes acél szalagskála tartórendszerrel

RTLC20-S: rozsdamentes acélból készült szalagskála öntapadó hátoldali szalaggal, amellyel közvetlenül rögzíthető a hordozó felülethez a FASTRACK vezetősínek nélkül

Olvasófej mérete (H x Sz x M)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Skálaosztás

20 μm

Hőtágulási együttható 20 °C-on

10,1 ±0,2 μm/m/°C

Pontossági osztály 20 °C-on

±5 μm/m

Referenciajel

IN-TRAC referenciajelek közvetlenül az RTLC20 / RTLC20-S skálába ágyazva

A választott referenciajel azonosítása választómágnessel

Végálláskapcsolók

Kettős vagy egyszeres végálláskapcsoló (rendeléskor kell kiválasztani)

Skála hossza

FASTRACK: 100 mm – 25 m

RTLC20/RTLC20-S: 10 m-ig

(> 10 m kérésre)

Maximális sebesség

Analóg

Digitális

(A részleteket lásd az adatlapon)

Akár 10 m/s -3 dB mellett

Max. 10 m/s

Osztás alatti hiba (SDE)

Jellemzően < ±30 nm

Dinamikus jelvezérlés

Valós idejű jelkondicionálás, ideértve az automatikus erősítésszabályozást (AGC) és automatikus eltolásszabályozást (AOC) az optimális üzemi teljesítmény érdekében

Inkrementális jelek

Analóg

Digitális


1 Vpp (20 μm-es periódus)

Felbontás 5 µm-től 1 nm-ig

Elektromos csatlakozás

0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m és 10 m kábelhossz mini csatlakozóval (közvetlenül a TONiC interfészhez csatlakozik)

Tápellátás

5 V ±10%, < 100 mA (analóg rendszer), < 200 mA (digitális rendszerek) (lezáratlan)

Az olvasófej energiafogyasztása< 100 mA

Rezgés (üzem közben)

max. 100 m/s2 55–2000 Hz-en

Ütés (üzemen kívül)

1000 m/s2, 6 ms, ½ szinusz

Üzemi hőmérséklet (rendszer)

0 °C és +70 °C között

Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül)

120 °C (Csak olvasófej és skála)

Tömítés

Olvasófej: IP20

Interfész: IP20

Kábel felépítése

Ónozott, rézfonatos egyszeres árnyékolás, FEP-magos szigetelés

A részleteket lásd az adatlapokon.