TONiC™ UHV inkrementális útmérő rendszer RSLM20 lineáris skálával

Jellemzők

  • Olvasófej mérete: 35 x 13,5 x 10 mm
  • 1 nm-ig terjedő felbontás
  • 10 m/s maximális sebesség
  • Analóg vagy digitális kimenetek
  • Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE): jellemzően <±30 nm
  • Optikai IN-TRAC™ referenciajel

Előnyök

  • Ultramagas vákuumban használható (UHV)
  • Nagy pontosságú merev skála
  • Szuperkompakt útmérő dinamikus jelkondicionálással a jobb mozgásvezérlés eléréséhez
  • Diagnosztikai készlet a bonyolult telepítési műveletek és a rendszer optimalizálásának elősegítéséhez.
Átlátszó mező az oldalon lévő hirdetőszalagok számára

Mi a TONiC UHV?

A TONiC UHV a Renishaw szuperkompakt, érintésmentes optikai útmérő rendszerét a rendkívül nagy vákuumú alkalmazásokban is elérhetővé teszi, amivel jobb mozgásvezérlési lehetőségeket kínál az ügyfeleknek.
A TONiC akár 10 m/s sebességet és a Ti interfésszel együtt használva lineáris és forgó alkalmazásokban is 1 nm-ig terjedő felbontást tesz lehetővé. A TONiC rendszerek széles beállítási tűrésük és egyetlen gombnyomásra kalibrálható kivitelük révén könnyen és gyorsan telepíthetők. A TONiC dinamikus jelfeldolgozása fokozott jelstabilitást biztosít nagyon alacsony, jellemzően <±30 nm osztás alatti hiba mellett, ezzel segítve a kimagasló mozgásvezérlési teljesítmény elérését.

Mi az RSLM20 skála?

Az RSLM20 20 µm osztású, rozsdamentes acélból készült merev skála, igény szerint különféle IN-TRAC optikai referenciajelekkel; ennek megfelelően az ügyfél által választható, rendszeres osztású kivitel, továbbá a közepén vagy a végéhez közel egyetlen referenciajellel ellátott verzió is elérhető.
A skála a finom osztású üvegskálákkal összevethető, és teljes pontossága (beleértve a ferdeséget és linearitást is) 5 m hosszon jobb, mint ±4 µm. Az egyszerű tárolás és kezelés céljából feltekercselhető, a letekercselést követően azonban merev skálaként használható.
A rögzítési követelmények teljesítése érdekében a rendszertervezők a speciálisan kialakított ragasztószalag vagy mechanikus kapcsok közül választhatnak. Mindkét rögzítési módszer lehetővé teszi, hogy a hőtágulás független legyen a hordozó felületétől.

Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?

Ultramagas vákuumban használható (UHV)

A TONiC UHV olvasófejek a normál TONiC egységek kiemelkedő teljesítményét biztosítják egy olyan olvasófejben, amelyet UHV-kompatibilis anyagok felhasználásával terveztek és készítettek olyan eljárásokkal, amelyek alkalmassá teszik akár 10 -10 Torr vákuumban, UHV körülmények között történő használatra is.
A TONiC UHV útmérők és tartozékok skálája vákuumban is használható anyagok és ragasztók felhasználásával készült, amelyeket kis mértékű gázkibocsátás jellemez, és a maradékgáz-elemzés (RGA) eredménye is igazoltan rendkívül tiszta. Ezáltal számos különféle alkalmazásban használhatók, például a félvezető-ostyák kezelése/ellenőrzése során, tudományos műszerekben, spektroszkópiás méréseknél, vákuumos vizsgálóberendezésekben és még sok más területen.

Egyszerre kínál strapabíróságot, megbízhatóságot és fokozott pontosságot

A TONiC RSLM20 rendszer a szalagskálák nyújtotta kényelmet, masszivitást és egyszerű használatot kínálja, de emellett az üveg skáláknál nagyobb pontosságot tesz lehetővé, ami ideálissá teszi a nagy hosszúságú, nagy teljesítményű tengelyekhez.

Maximális megbízhatóság és teljesítmény kis méretben

A tökéletes megbízhatóság és egyenletes teljesítmény érdekében a TONiC olvasófejek harmadik generációs szűrőoptikát tartalmaznak, amelyet a korábbinál még alacsonyabb zajra (remegésre) hangoltak, és tovább tökéletesítettek az automatikus erősítésszabályozást és automatikus eltolásszabályozást is tartalmazó dinamikus jelfeldolgozással. A fenti funkciók – teljesen az olvasófejbe épített – kombinációja páratlan tisztaságú jeleket és rendkívül alacsony osztás alatti hibaértéket (csak ±30 nm) biztosít. Mindez finomabb sebességszabályozást eredményez a jobb szkennelési teljesítmény és a jobb helyzetstabilitás érdekében, amelyek révén a vákuumban lévő motorok felmelegedése minimálisra csökken; ezáltal a vákuumos alkalmazások szempontjából lényeges paraméterek mindegyike rendelkezésre áll egy kompakt olvasófejben.

Gyorsabb és egyszerűbb beépítés

Az olvasófejen lévő beállító LED vizuálisan jelzi a jel méretét, az opcionális diagnosztikai készlet pedig lehetővé teszi a rendszerteljesítmény távoli ellenőrzését, amikor az olvasófej a gép munkaterében van. A referenciajel és az inkrementális jelek kalibrálása egy gombnyomással történik mindenféle mechanikai beállítás vagy további diagnosztikai eszközök nélkül. A felhasználó által kiválasztható IN-TRAC optikai referenciajel az inkrementális skálába van beágyazva a kompakt kivitel és egyszerű beállítás érdekében. Ezzel olyan referenciajel nyerhető, amely a felbontás egységének megfelelő ismétlési pontosságot garantál a teljes üzemi hőmérsékleti és sebességtartományban, mindkét irányban.

Interfész-opciók

TD (kettős felbontású) interfész

  • Választható kettős felbontású négyszögjel-kimenet. Ti interfész (négyzet)
  • Ideális olyan alkalmazások esetén, amelyeknél nagy sebességű és precíziós mozgás kombinációja szükséges.

DOP (kettős kimenetű) interfész

  • Egyidejű digitális négyszögjeleket és 1 Vpp jeleket biztosít.
  • Egy vagy több művelet mozgótengellyel történő szinkronizálását igénylő alkalmazásokhoz készült.TONiC kettős kimenetű (DOP) interfész

Külön rendelhető diagnosztikai készlet

TONiC™ diagnosztikai készlet (szoftver és hardver)

A TONiC diagnosztikai szoftver segítségével optimalizálható a TONiC útmérők telepítése, és a rendszer gyors és átfogó módon kalibrálható. A szoftvert a TONiC diagnosztikai hardverrel együtt kell használni, amely A-9411–0011 cikkszámon szerezhető be a Renishaw-tól. A hardver USB-kábellel (a készlet tartalmazza) csatlakoztatható a számítógéphez, vagy sorosan az ügyfelek elektronikai rendszeréhez.

Tudjon meg mindent a TONiC diagnosztikai készletről.

Műszaki adatok

Mérési szabvány

RSLM20: nagy pontosságú rozsdamentes acél merev skála

A végén referenciajellel ellátott RSLE20, valamint választható referenciajellel ellátható RSLC20 változatban is kapható

Olvasófej mérete (H x Sz x M)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Skálaosztás

20 μm

Hőtágulási együttható 20 °C-on

10,1 ±0,2 μm/m/°C

Pontossági osztály 20 °C-on

±1,5 μm 1 m-ig, ±2,25 μm 2 m-ig, ±3 μm 3 m-ig, ±4 μm 5 m-ig, a kalibrálás visszavezethető a nemzetközi szabványokra

Referenciajel

IN-TRAC referenciajel

Különféle módokon elhelyezhető referenciajel, részletek az adatlapon

Végálláskapcsolók

Kettős vagy egyszeres végálláskapcsoló (rendeléskor kell kiválasztani)

Skála hossza

80 mm – 5 m

Maximális sebesség

Analóg

Digitális

(A részleteket lásd az adatlapon)

Akár 10 m/s -3 dB mellett

Max. 10 m/s

Osztás alatti hiba (SDE)

Jellemzően < ±30 nm

Dinamikus jelvezérlés

Valós idejű jelkondicionálás, ideértve az automatikus erősítésszabályozást (AGC) és automatikus eltolásszabályozást (AOC) az optimális üzemi teljesítmény érdekében

Inkrementális jelek

Analóg

Digitális


1 Vpp (20 μm-es periódus)

Felbontás 5 µm-től 1 nm-ig

Elektromos csatlakozás

0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m és 10 m kábelhossz mini csatlakozóval (közvetlenül a TONiC interfészhez csatlakozik)

Tápellátás

5 V ±10%, < 100 mA (analóg rendszer), < 200 mA (digitális rendszerek) (lezáratlan)

Az olvasófej energiafogyasztása< 100 mA

Rezgés (üzem közben)

max. 100 m/s2 55–2000 Hz-en

Ütés (üzemen kívül)

1000 m/s2, 6 ms, ½ szinusz

Üzemi hőmérséklet (rendszer)

0 °C és +70 °C között

Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül)

120 °C (Csak olvasófej és skála)

Tömítés

Olvasófej: IP20

Interfész: IP20

Kábel felépítése

Ónozott, rézfonatos egyszeres árnyékolás, FEP-magos szigetelés

A részleteket lásd az adatlapokon.