TONiC™ UHV inkrementális útmérő rendszer RKLC20-S lineáris skálával

Jellemzők

  • Olvasófej mérete: 35 x 13,5 x 10 mm
  • 1 nm-ig terjedő felbontás
  • 10 m/s maximális sebesség
  • Analóg vagy digitális kimenetek
  • Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE): jellemzően <±30 nm
  • Ügyfél által választható optikai IN-TRAC™ referenciajel

Előnyök

  • Ultramagas vákuumban használható (UHV)
  • Keskeny, 6 mm szélességű skála kis helyigényű alkalmazásokhoz
  • Hordozó felülethez igazodó skála jobb méréstechnikai teljesítménnyel
  • Szuperkompakt útmérő dinamikus jelkondicionálással a jobb mozgásvezérlés eléréséhez
  • Praktikus, méretre vágható
  • Nagyfokú ellenállás a szennyeződésekkel és az oldószerekkel szemben
Átlátszó mező az oldalon lévő hirdetőszalagok számára

Mi a TONiC UHV?

A TONiC UHV az ultramagas vákuumban működő alkalmazások területén is elérhetővé teszi a Renishaw szuperkompakt, érintésmentes útmérő rendszerét, ezzel jobb mozgásvezérlést tesz lehetővé az ügyfelek számára.

A TONiC akár 10 m/s sebességet és – a Ti interfésszel ötvözve – lineáris és forgó alkalmazásokban is 1 nm-ig terjedő felbontást tesz lehetővé. A TONiC rendszerek széles beállítási tűrésük és egyetlen gombnyomásra kalibrálható kivitelük révén könnyen és gyorsan telepíthetők. A TONiC dinamikus jelfeldolgozása fokozott jelstabilitást biztosít nagyon alacsony, jellemzően < ±30 nm osztás alatti hiba mellett, ezzel segítve a kimagasló mozgásvezérlési teljesítmény elérését.

Mi az RKLC20-S skála?

Az RKLC20-S egy keskeny, lapos kivitelű, rozsdamentes acél szalagskála, amely 20 µm-es inkrementális osztású, és az ügyfél által választható IN-TRAC referenciajelekkel rendelkezik. Pontossága ±5 µm/m, és 20 méterig terjedő (külön kérésre > 20 m) hosszúsággal kapható. Az RKLC20-S igazodik a hordozó felülethez: a skála végei a jobb méréstechnikai teljesítmény érdekében fixen rögzíthetők a hordozó felülethez.

Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?

Ultramagas vákuumban használható (UHV)

A TONiC UHV olvasófejek a normál TONiC egységek kiemelkedő teljesítményét biztosítják egy olyan olvasófejben, amelyet UHV-kompatibilis anyagok felhasználásával terveztek és készítettek olyan eljárásokkal, amelyek alkalmassá teszik akár 10-10 Torr vákuumban, UHV körülmények között történő használatra is.

A TONiC UHV útmérők és tartozékok skálája vákuumban is használható anyagok és ragasztók felhasználásával készült, amelyeket kis mértékű gázkibocsátás jellemez, és a maradékgáz-elemzés (RGA) eredménye is igazoltan rendkívül tiszta. Ezáltal számos különféle alkalmazásban használhatók, például a félvezető-ostyák kezelése/ellenőrzése során, tudományos műszerekben, spektroszkópiás méréseknél, vákuumos vizsgálóberendezésekben és még sok más területen.

Maximális megbízhatóság és teljesítmény kis méretben

A tökéletes megbízhatóság, az egyenletes teljesítmény és a szennyeződésekkel szembeni kitűnő ellenállás érdekében a TONiC olvasófejek harmadik generációs szűrőoptikát tartalmaznak, amelyet a korábbinál még alacsonyabb zajra (remegésre) hangoltak, és tovább tökéletesítettek az automatikus erősítésszabályozást és automatikus eltolásszabályozást is tartalmazó dinamikus jelfeldolgozás által. A fenti funkciók – teljesen az olvasófejbe épített – kombinációja páratlan tisztaságú jeleket és rendkívül alacsony, jellemzően ±30 nm-es osztás alatti hibát biztosít. Az újítások eredményeként a sebességszabályozás jóval hatékonyabban végezhető, ami javítja a szkennelési teljesítményt és a helyzetstabilitást; ezek a jellemzők számos alkalmazástípusban döntő jelentőséggel bírnak, és itt egy kompakt olvasófejben mind elérhetők.

Keskeny, erőteljes és sokoldalú skála

Az RKLC erőteljes, 6 mm szélességű és 0,15 mm vastagságú, rozsdamentes acél útmérő szalagskála, mely igazodik a gép hordozófelületéhez. Azaz, ha a skálát fixen rögzítik a gép tengelyéhez, az igazodik a gép hőtágulási együtthatójához és viselkedéséhez. Így minimálisra csökken a skála és a gép felületei közötti differenciális mozgás.

Az index pozíciókról IN-TRAC optikai referenciajelek gondoskodnak, amelyek az automatikus fázisbeállítás érdekében közvetlenül az inkrementális skálajelölésekbe vannak beágyazva. A skála kompakt kialakítása megkönnyíti az útmérő telepítését olyan alkalmazásoknál, ahol szűkös a rendelkezésre álló hely. Ezenkívül az RKLC szalagban a ±5 µm/m pontosság egyesül a rozsdamentes acél mechanikai és kémiai hatásokkal szembeni ellenállásával, a könnyű feltekercselhetőséggel és a praktikus méretre vágás lehetőségével.

Interfész-opciók

TD (kettős felbontású) interfész

  • Választható kettős felbontású négyszögjel-kimenet. Ti interfész (négyzet)
  • Ideális olyan alkalmazások esetén, amelyeknél nagy sebességű és precíziós mozgás kombinációja szükséges.

DOP (kettős kimenetű) interfész

  • Egyidejű digitális négyszögjeleket és 1 Vpp jeleket biztosít.
  • Egy vagy több művelet mozgótengellyel történő szinkronizálását igénylő alkalmazásokhoz készült.TONiC kettős kimenetű (DOP) interfész

Külön rendelhető diagnosztikai készlet

TONiC™ diagnosztikai készlet (szoftver és hardver)

A TONiC diagnosztikai szoftver segítségével optimalizálható a TONiC útmérők telepítése, és a rendszer gyors és átfogó módon kalibrálható. A szoftvert a TONiC diagnosztikai hardverrel együtt kell használni, amely A-9411–0011 cikkszámon szerezhető be a Renishaw-tól. A hardver USB-kábellel (a készlet tartalmazza) csatlakoztatható a számítógéphez, vagy sorosan az ügyfelek elektronikai rendszeréhez.

Tudjon meg mindent a TONiC diagnosztikai készletről.

Műszaki adatok

Mérési szabvány

Keskeny, rozsdamentes acélból készült szalagskála öntapadós hátoldali szalaggal, amellyel közvetlenül rögzíthető a hordozó felülethez

Olvasófej mérete (H x Sz x M)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Skálaosztás

20 μm

Hőtágulási együttható

A hordozó felület anyagáéval azonos, amikor a skála végei mereven a hordozó felülethez vannak rögzítve.

Pontossági osztály 20 °C-on

±5 μm/m

Referenciajel

IN-TRAC referenciajelek közvetlenül az RKLC-S skálába ágyazva

A választott referenciajelek azonosítása választómágnessel

Végálláskapcsolók

Kettős vagy egyszeres végálláskapcsoló (rendeléskor kell kiválasztani)

Skála hossza

20 m-ig (> 20 m kérésre)

Skála formája (M x Sz)0,15 mm x 6 mm, ragasztóval együtt

Maximális sebesség

Analóg

Digitális

(A részleteket lásd az adatlapon)

Akár 10 m/s -3 dB mellett

Max. 10 m/s

Osztás alatti hiba (SDE)

Jellemzően < ±30 nm

Dinamikus jelvezérlés

Valós idejű jelkondicionálás, ideértve az automatikus erősítésszabályozást (AGC) és automatikus eltolásszabályozást (AOC) az optimális üzemi teljesítmény érdekében

Inkrementális jelek

Analóg

Digitális


1 Vpp (20 μm-es periódus)

Felbontás 5 µm-től 1 nm-ig

Elektromos csatlakozás

0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m és 10 m kábelhossz mini csatlakozóval (közvetlenül a TONiC interfészhez csatlakozik)

Tápellátás

5 V ±10%, < 100 mA (analóg rendszer), < 200 mA (digitális rendszerek) (lezáratlan)

Rezgés (üzem közben)

max. 100 m/ s2 55–2000 Hz-en

Ütés (üzemen kívül)

500 m/s2, 11 ms, ½ szinusz, 3 tengely

Üzemi hőmérséklet (rendszer)

0 °C és +70 °C között

Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül)120 °C (Csak olvasófej és skála)

Tömítés

Olvasófej: IP20

Interfész: IP20

Kábel felépítéseÓnozott, rézfonatos egyszeres árnyékolás, FEP-magos szigetelés

A részleteket lásd az adatlapokon.