TONiC™ UHV inkrementális útmérő rendszer REXM20 (szögelfordulás-érzékelő) forgójeladó-gyűrűvel
Jellemzők
- Olvasófej mérete: 35 x 13,5 x 10 mm
- 1 nm-ig terjedő felbontás
- Akár 3673 ford./perc fordulatszám
- Analóg vagy digitális kimenetek
- Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE): jellemzően <±30 nm
- Optikai IN-TRAC™ referenciajel
Előnyök
- Ultramagas vákuumban használható (UHV)
- Beépítést követően ±1 szögmásodperces pontosságú, vastag keresztmetszetű gyűrű
- Szuperkompakt útmérő olvasófej dinamikus jelkondicionálással a jobb mozgásvezérlés eléréséhez
- Diagnosztikai készlet a bonyolult telepítési műveletek és a rendszer optimalizálásának elősegítéséhez.
Mi a TONiC UHV?
A TONiC UHV a Renishaw szuperkompakt, érintésmentes optikai útmérő rendszerét a rendkívül nagy vákuumú alkalmazásokban is elérhetővé teszi, amivel jobb mozgásvezérlési lehetőségeket kínál az ügyfeleknek.
A TONiC akár 10 m/s sebességet és a Ti interfésszel együtt használva lineáris és forgó alkalmazásokban is 1 nm-ig terjedő felbontást tesz lehetővé. A TONiC rendszerek széles beállítási tűrésük és egyetlen gombnyomásra kalibrálható kivitelük révén könnyen és gyorsan telepíthetők. A TONiC dinamikus jelfeldolgozása fokozott jelstabilitást biztosít nagyon alacsony, jellemzően <±30 nm osztás alatti hiba mellett, ezzel segítve a kimagasló mozgásvezérlési teljesítmény elérését.
Mi az REXM20 gyűrű?
Az REXM20 egy darabból álló, rozsdamentes acélból készült, közvetlenül a kerületébe mart 20 µm-es osztásközű inkrementális skálával ellátott gyűrű, amelyen az IN-TRAC™ optikai referenciajel is megtalálható. Nagyobb keresztmetszete az excentricitáson kívül – amely könnyen korrigálható egy DSi (kettős jelinterfész) és két olvasófej használatával – minden telepítési hiba csökkentését lehetővé teszi. A beépítést követő teljes pontosság akár ±1 szögmásodperc, csatolási veszteség gyakorlatilag nincsen, az ismétlőképesség pedig kivételes mértékű.
A REXM20 egy sor különböző méretben (Ø52 – Ø417 mm) és osztásszámmal kapható, amelyek a rugalmas integrálhatóság érdekében mind nagy belső átmérőjűek. Az érintésmentes kivitel kiküszöböli az irányváltási holtjátékot, a tengely elcsavarodását (torzió) és más mechanikai hiszterézishibákat, amelyek a hagyományos tokozott jeladók velejárói.
Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?
Ultramagas vákuumban használható (UHV)
A TONiC UHV olvasófejek a normál TONiC egységek kiemelkedő teljesítményét biztosítják egy olyan olvasófejben, amelyet UHV-kompatibilis anyagok felhasználásával terveztek és készítettek olyan eljárásokkal, amelyek alkalmassá teszik akár 10 -10 Torr vákuumban, UHV körülmények között történő használatra is.
A TONiC UHV útmérők és tartozékok skálája vákuumban is használható anyagok és ragasztók felhasználásával készült, amelyeket kis mértékű gázkibocsátás jellemez, és a maradékgáz-elemzés (RGA) eredménye is igazoltan rendkívül tiszta. Ezáltal számos különféle alkalmazásban használhatók, például a félvezető-ostyák kezelése/ellenőrzése során, tudományos műszerekben, spektroszkópiás méréseknél, vákuumos vizsgálóberendezésekben és még sok más területen.
Rendkívül nagy beépítés utáni pontosság
A tökéletes szögmérés érdekében az REXM20 két TONiC olvasófejjel, valamint egy TONiC DSi (kettős jelinterfész) egységgel használva kiváló ismétlőképességet, nulla csatolási veszteséget és ±1 szögmásodpercnél is jobb teljes beépítés utáni pontosságot kínál. Az REXM20 vastagabb keresztmetszetének célja, hogy az excentricitás kivételével az összes telepítési hiba minimalizálható legyen; az excentricitás két TONiC olvasófej kombinált kimenő jelével könnyen korrigálható. Miután a DSi kiküszöbölte az excentricitást, már csak a beosztási és osztás alatti (SDE) hiba marad – mindkettő nagyon kicsi.
Maximális megbízhatóság és teljesítmény kis méretben
A tökéletes megbízhatóság és egyenletes teljesítmény érdekében a TONiC olvasófejek harmadik generációs szűrőoptikát tartalmaznak, amelyet a korábbinál még alacsonyabb zajra (remegésre) hangoltak, és tovább tökéletesítettek az automatikus erősítésszabályozást és automatikus eltolásszabályozást is tartalmazó dinamikus jelfeldolgozással. A fenti funkciók – teljesen az olvasófejbe épített – kombinációja páratlan tisztaságú jeleket és rendkívül alacsony osztás alatti hibaértéket (csak ±30 nm) biztosít. Mindez finomabb sebességszabályozást eredményez a jobb szkennelési teljesítmény és a jobb helyzetstabilitás érdekében, amelyek révén a vákuumban lévő motorok felmelegedése minimálisra csökken; ezáltal a vákuumos alkalmazások szempontjából lényeges paraméterek mindegyike rendelkezésre áll egy kompakt olvasófejben.
Gyorsabb és egyszerűbb beépítés
Az olvasófejen lévő beállító LED vizuálisan jelzi a jel méretét, az opcionális diagnosztikai készlet pedig lehetővé teszi a rendszerteljesítmény távoli ellenőrzését, amikor az olvasófej a gép munkaterében van. A referenciajel és az inkrementális jelek kalibrálása egy gombnyomással történik mindenféle mechanikai beállítás vagy további diagnosztikai eszközök nélkül. A felhasználó által kiválasztható IN-TRAC optikai referenciajel az inkrementális skálába van beágyazva a kompakt kivitel és egyszerű beállítás érdekében. Ezzel olyan referenciajel nyerhető, amely a felbontás egységének megfelelő ismétlési pontosságot garantál a teljes üzemi hőmérsékleti és sebességtartományban, mindkét irányban.
Interfész-opciók
TD (kettős felbontású) interfész
- Választható kettős felbontású négyszögjel-kimenet.
- Ideális olyan alkalmazások esetén, amelyeknél nagy sebességű és precíziós mozgás kombinációja szükséges.
DOP (kettős kimenetű) interfész
- Egyidejű digitális négyszögjelet és 1Vpp jeleket biztosít.
- Egy vagy több művelet mozgótengellyel történő szinkronizálását igénylő alkalmazásokhoz készült.
DSi (Kettős jeles interfész)
- A Renishaw DSi két TONiC olvasófej inkrementális jelét kombinálja egy REXM20 gyűrűn (részleges körpályás alkalmazásokban REXT20 gyűrűn), hogy kompenzálja a csapágyak játékának hatását, és kiküszöböli a páratlan harmonikus jelekből adódó hibákat, ideértve az excentricitást, ezáltal az I beépítés utáni pontosság jellemző értéke mindössze ±2,0 szögmásodperc.
Külön rendelhető diagnosztikai készlet
A TONiC diagnosztikai szoftver segítségével optimalizálható a TONiC útmérők telepítése, és a rendszer gyors és átfogó módon kalibrálható. A szoftvert a TONiC diagnosztikai hardverrel együtt kell használni, amely A-9411–0011 cikkszámon szerezhető be a Renishaw-tól. A hardver USB-kábellel (a készlet tartalmazza) csatlakoztatható a számítógéphez, vagy sorosan az ügyfelek elektronikai rendszeréhez.
Tudjon meg mindent a TONiC diagnosztikai készletről.
Műszaki adatok
Mérési szabvány | REXM20: egy darabból álló, rendkívül nagy pontosságú, rozsdamentes acélgyűrű Részleges körpályás alkalmazásokhoz használható REXT20 verzióban is kapható |
Olvasófej mérete (H x M x Sz) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Skálaosztás | 20 μm |
| Hőtágulási együttható 20 °C-on | 15,5 ±0,5 μm/m/°C |
Gyűrű külső átmérője | 52 mm – 417 mm |
Osztásszám | 8192–65 536 (gyűrűmérettől függően) |
Referenciajel | REXM20: egyetlen IN-TRAC referenciajellel ellátott gyűrű REXT20: két referenciajeles gyűrű részleges körpályás alkalmazásokhoz |
Beépítés utáni teljes pontosság (2 olvasófejjel) | (≥ 100 mm átmérő) ±1 szögmásodperc (75 mm átmérő) ±1,5 szögmásodperc (≤ 57 mm átmérő) ±2 szögmásodperc |
Maximális sebesség Analóg Digitális | (A részleteket lásd az adatlapon) 3673 ford./perc -3 dB mellett (52 mm-es REXM20 esetén) 3673 ford./perc (5 μm-es felbontású TONiC útmérő 52 mm-es REXM20 skálán) |
Osztás alatti hiba (SDE) | Jellemzően < ±30 nm |
Dinamikus jelvezérlés | Valós idejű jelkondicionálás, ideértve az automatikus erősítésszabályozást (AGC) és automatikus eltolásszabályozást (AOC) az optimális üzemi teljesítmény érdekében |
Inkrementális jelek Analóg Digitális | (A szögfelbontás részletes adatait lásd az adatlapon) 1 Vpp (20 μm-es periódus) Felbontás 5 µm-től 1 nm-ig |
Elektromos csatlakozás | 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m és 10 m kábelhossz mini csatlakozóval (közvetlenül a TONiC interfészhez csatlakozik) |
Tápellátás | 5 V ±10%, < 100 mA (analóg rendszer), < 200 mA (digitális rendszerek) (lezáratlan) |
| Az olvasófej energiafogyasztása | < 100 mA |
Rezgés (üzem közben) | max. 100 m/s2 55–2000 Hz-en |
Ütés (üzemen kívül) | 1000 m/s2, 6 ms, ½ szinusz |
Üzemi hőmérséklet (rendszer) | 0 °C és +70 °C között |
Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül) | 120 °C (csak olvasófej és skála) |
Tömítés | Olvasófej: IP20 Interfész: IP20 |
Kábel felépítése | Ónozott, rézfonatos egyszeres árnyékolás, FEP-magos szigetelés |
A részleteket lásd az adatlapokon.