TONiC™ UHV inkrementális útmérő rendszer RELM20 lineáris skálával
Jellemzők
- Olvasófej mérete: 35 x 13,5 x 10 mm
- 1 nm-ig terjedő felbontás
- 10 m/s maximális sebesség
- Analóg vagy digitális kimenetek
- Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE): jellemzően <±30 nm
- Optikai IN-TRAC™ referenciajel
Előnyök
- Ultramagas vákuumban használható (UHV)
- Kiváló pontosság és „közel nulla” hőtágulás egyetlen egységben
- Szuperkompakt útmérő dinamikus jelkondicionálással a jobb mozgásvezérlés eléréséhez
- Diagnosztikai készlet a bonyolult telepítési műveletek és a rendszer optimalizálásának elősegítéséhez.
Mi a TONiC UHV?
A TONiC UHV a Renishaw szuperkompakt, érintésmentes optikai útmérő rendszerét a rendkívül nagy vákuumú alkalmazásokban is elérhetővé teszi, amivel jobb mozgásvezérlési lehetőségeket kínál az ügyfeleknek.
A TONiC akár 10 m/s sebességet és a Ti interfésszel együtt használva lineáris és forgó alkalmazásokban is 1 nm-ig terjedő felbontást tesz lehetővé. A TONiC rendszerek széles beállítási tűrésük és egyetlen gombnyomásra kalibrálható kivitelük révén könnyen és gyorsan telepíthetők. A TONiC dinamikus jelfeldolgozása fokozott jelstabilitást biztosít nagyon alacsony, jellemzően <±30 nm osztás alatti hiba mellett, ezzel segítve a kimagasló mozgásvezérlési teljesítmény elérését.
Mi a RELM20 skála?
A RELM20 egy ZeroMet™-ből, vagyis alacsony tágulási együtthatójú nikkel-vas ötvözetből készült, 20 µm osztású merev skála.
A skála a finom osztású üvegskálákkal összevethető, és teljes pontossága (beleértve a ferdeséget és linearitást is) 1,5 m hosszon jobb, mint ±1 µm. A ZeroMet hőtágulási együtthatója körülbelül 0,75 ±0,35 μm/m/°C 20 °C hőmérsékleten.
A rögzítési követelmények teljesítése érdekében a rendszertervezők a speciálisan kialakított, UHV-kompatibilis ragasztószalag vagy mechanikus kapcsok közül választhatnak. Mindkét rögzítési módszer lehetővé teszi, hogy a hőtágulás független legyen a hordozó felületétől.
Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?
Ultramagas vákuumban használható (UHV)
A TONiC UHV olvasófejek a normál TONiC egységek kiemelkedő teljesítményét biztosítják egy olyan olvasófejben, amelyet UHV-kompatibilis anyagok felhasználásával terveztek és készítettek olyan eljárásokkal, amelyek alkalmassá teszik akár 10 -10 Torr vákuumban, UHV körülmények között történő használatra is.
A TONiC UHV útmérők és tartozékok skálája vákuumban is használható anyagok és ragasztók felhasználásával készült, amelyeket kis mértékű gázkibocsátás jellemez, és a maradékgáz-elemzés (RGA) eredménye is igazoltan rendkívül tiszta. Ezáltal számos különféle alkalmazásban használhatók, például a félvezető-ostyák kezelése/ellenőrzése során, tudományos műszerekben, spektroszkópiás méréseknél, vákuumos vizsgálóberendezésekben és még sok más területen.
Könnyű kezelhetőség
Az alacsony hőtágulású RELM20 ZeroMet skála keresztmetszete sokkal kisebb a tipikus üvegskálákénál, és a skála könnyebben is kezelhető és telepíthető, ráadásul a törésétől is kevésbé kell tartani, így ideális a legnagyobb kihívást jelentő precíziós alkalmazásokhoz is.
Maximális megbízhatóság és teljesítmény kis méretben
A tökéletes megbízhatóság és egyenletes teljesítmény érdekében a TONiC olvasófejek harmadik generációs szűrőoptikát tartalmaznak, amelyet a korábbinál még alacsonyabb zajra (remegésre) hangoltak, és tovább tökéletesítettek az automatikus erősítésszabályozást és automatikus eltolásszabályozást is tartalmazó dinamikus jelfeldolgozással. A fenti funkciók – teljesen az olvasófejbe épített – kombinációja páratlan tisztaságú jeleket és rendkívül alacsony osztás alatti hibaértéket (csak ±30 nm) biztosít. Mindez finomabb sebességszabályozást eredményez a jobb szkennelési teljesítmény és a jobb helyzetstabilitás érdekében, amelyek révén a vákuumban lévő motorok felmelegedése minimálisra csökken; ezáltal a vákuumos alkalmazások szempontjából lényeges paraméterek mindegyike rendelkezésre áll egy kompakt olvasófejben.
Gyorsabb és egyszerűbb beépítés
Az olvasófejen lévő beállító LED vizuálisan jelzi a jel méretét, az opcionális diagnosztikai készlet pedig lehetővé teszi a rendszerteljesítmény távoli ellenőrzését, amikor az olvasófej a gép munkaterében van. A referenciajel és az inkrementális jelek kalibrálása egy gombnyomással történik mindenféle mechanikai beállítás vagy további diagnosztikai eszközök nélkül. A felhasználó által kiválasztható IN-TRAC optikai referenciajel az inkrementális skálába van beágyazva a kompakt kivitel és egyszerű beállítás érdekében. Ezzel olyan referenciajel nyerhető, amely a felbontás egységének megfelelő ismétlési pontosságot garantál a teljes üzemi hőmérsékleti és sebességtartományban, mindkét irányban.
Interfész-opciók
TD (kettős felbontású) interfész
- Választható kettős felbontású négyszögjel-kimenet.
- Ideális olyan alkalmazások esetén, amelyeknél nagy sebességű és precíziós mozgás kombinációja szükséges.
DOP (kettős kimenetű) interfész
- Egyidejű digitális négyszögjeleket és 1 Vpp jeleket biztosít.
- Egy vagy több művelet mozgótengellyel történő szinkronizálását igénylő alkalmazásokhoz készült.
Külön rendelhető diagnosztikai készlet
A TONiC diagnosztikai szoftver segítségével optimalizálható a TONiC útmérők telepítése, és a rendszer gyors és átfogó módon kalibrálható. A szoftvert a TONiC diagnosztikai hardverrel együtt kell használni, amely A-9411–0011 cikkszámon szerezhető be a Renishaw-tól. A hardver USB-kábellel (a készlet tartalmazza) csatlakoztatható a számítógéphez, vagy sorosan az ügyfelek elektronikai rendszeréhez.
Tudjon meg mindent a TONiC diagnosztikai készletről.
Műszaki adatok
Mérési szabvány | RELM20: nagy pontosságú ZeroMet merev skála középen elhelyezett referenciajellel RELE20 kivitelben is kapható, ahol a skála végén van referenciajel |
Olvasófej mérete (H x Sz x M) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Skálaosztás | 20 μm |
Hőtágulási együttható 20 °C-on | 0,75 ±0,35 μm/m/°C |
Pontossági osztály 20 °C-on | Tanúsítás szerint ±1 μm, a kalibrálás nemzetközi szabványokra vezethető vissza |
Referenciajel | IN-TRAC referenciajel Különféle módokon elhelyezhető referenciajel, részletek az adatlapon |
Végálláskapcsolók | Kettős vagy egyszeres végálláskapcsoló (rendeléskor kell kiválasztani) |
Skála hossza | 20 mm – 1,5 m |
Maximális sebesség Analóg Digitális | (A részleteket lásd az adatlapon) Akár 10 m/s -3 dB mellett Max. 10 m/s |
Osztás alatti hiba (SDE) | Jellemzően < ±30 nm |
Dinamikus jelvezérlés | Valós idejű jelkondicionálás, ideértve az automatikus erősítésszabályozást (AGC) és automatikus eltolásszabályozást (AOC) az optimális üzemi teljesítmény érdekében |
Inkrementális jelek Analóg Digitális | 1 Vpp (20 μm-es periódus) Felbontás 5 µm-től 1 nm-ig |
Elektromos csatlakozás | 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m és 10 m kábelhossz mini csatlakozóval (közvetlenül a TONiC interfészhez csatlakozik) |
Tápellátás | 5 V ±10%, < 100 mA (analóg rendszer), < 200 mA (digitális rendszerek) (lezáratlan) |
| Az olvasófej energiafogyasztása | < 100 mA |
Rezgés (üzem közben) | max. 100 m/s2 55–2000 Hz-en |
Ütés (üzemen kívül) | 1000 m/s2, 6 ms, ½ szinusz |
Üzemi hőmérséklet (rendszer) | 0 °C és +70 °C között |
Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül) | 120 °C (Csak olvasófej és skála) |
Tömítés | Olvasófej: IP20 Interfész: IP20 |
Kábel felépítése | Ónozott, rézfonatos egyszeres árnyékolás, FEP-magos szigetelés |
A részleteket lásd az adatlapokon.