TONiC™ UHV inkrementális útmérő rendszer forgójeladókhoz (szögelfordulás-érzékelőkhöz) használható RESM20 gyűrűvel

Jellemzők

  • Olvasófej mérete: 35 x 13,5 x 10 mm
  • 1 nm-ig terjedő felbontás
  • Akár 3673 ford./perc fordulatszám
  • Ultra-alacsony osztás alatti hiba (SDE): jellemzően < ±30 nm
  • Optikai IN-TRAC™ referenciajel

Előnyök

  • Ultramagas vákuumban használható (UHV)
  • Lapos kivitelű, nagy belső átmérőjű gyűrű a könnyű beépítés érdekében
  • Szuperkompakt útmérő olvasófej dinamikus jelkondicionálással a jobb mozgásvezérlés eléréséhez
  • Diagnosztikai készlet a bonyolult telepítési műveletek és a rendszer optimalizálásának elősegítéséhez.
Átlátszó mező az oldalon lévő hirdetőszalagok számára

Mi a TONiC UHV?

A TONiC UHV a Renishaw szuperkompakt, érintésmentes optikai útmérő rendszerét a rendkívül nagy vákuumú alkalmazásokban is elérhetővé teszi, amivel jobb mozgásvezérlési lehetőségeket kínál az ügyfeleknek.
A TONiC akár 10 m/s sebességet és a Ti interfésszel együtt használva lineáris és forgó alkalmazásokban is 1 nm-ig terjedő felbontást tesz lehetővé. A TONiC rendszerek széles beállítási tűrésük és egyetlen gombnyomásra kalibrálható kivitelük révén könnyen és gyorsan telepíthetők. A TONiC dinamikus jelfeldolgozása fokozott jelstabilitást biztosít nagyon alacsony, jellemzően <±30 nm osztás alatti hiba mellett, ezzel segítve a kimagasló mozgásvezérlési teljesítmény elérését.

Mi az RESM20 gyűrű?

Az RESM20 egy darabból álló, rozsdamentes acélból készült, közvetlenül a kerületébe mart 20 µm-es osztásközű skálával rendelkező gyűrű, amelyet az IN-TRAC™ optikai referenciajellel is ellátnak. Széles mérettartományban (52–550 mm átmérő) és két változatban kapható. A lenyűgöző beépítés utáni pontosságot kínáló „A” metszetű gyűrűk, amelyek kúpos rögzítési rendszere szinte feleslegessé teszi a nagyon kis tűrésű megmunkált alkatrészek alkalmazását, és teljesen kiküszöböli az excentricitást. Emellett a „B” metszetű, kis tehetetlenségű és tömegű keskeny gyűrűk is kaphatók. Az „A” és „B” metszetű gyűrűk egyaránt nagy átmérőjűek az UHV alkalmazásokba történő rugalmas beépíthetőség érdekében. Az érintésmentes kivitel kiküszöböli az irányváltási holtjátékot, a tengely elcsavarodását (torzió) és más mechanikai hiszterézishibákat, amelyek a hagyományos tokozott jeladók velejárói.

Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?

Ultramagas vákuumban használható (UHV)

A TONiC UHV olvasófejek a normál TONiC egységek kiemelkedő teljesítményét biztosítják egy olyan olvasófejben, amelyet UHV-kompatibilis anyagok felhasználásával terveztek és készítettek olyan eljárásokkal, amelyek alkalmassá teszik akár 10 -10 Torr vákuumban, UHV körülmények között történő használatra is.
A TONiC UHV útmérők és tartozékok skálája vákuumban is használható anyagok és ragasztók felhasználásával készült, amelyeket kis mértékű gázkibocsátás jellemez, és a maradékgáz-elemzés (RGA) eredménye is igazoltan rendkívül tiszta. Ezáltal számos különféle alkalmazásban használhatók, például a félvezető-ostyák kezelése/ellenőrzése során, tudományos műszerekben, spektroszkópiás méréseknél, vákuumos vizsgálóberendezésekben és még sok más területen.

Maximális megbízhatóság és teljesítmény kis méretben

A tökéletes megbízhatóság és egyenletes teljesítmény érdekében a TONiC olvasófejek harmadik generációs szűrőoptikát tartalmaznak, amelyet a korábbinál még alacsonyabb zajra (remegésre) hangoltak, és tovább tökéletesítettek az automatikus erősítésszabályozást és automatikus eltolásszabályozást is tartalmazó dinamikus jelfeldolgozással. A fenti funkciók – teljesen az olvasófejbe épített – kombinációja páratlan tisztaságú jeleket és rendkívül alacsony osztás alatti hibaértéket (csak ±30 nm) biztosít. Mindez finomabb sebességszabályozást eredményez a jobb szkennelési teljesítmény és a jobb helyzetstabilitás érdekében, amelyek révén a vákuumban lévő motorok felmelegedése minimálisra csökken; ezáltal a vákuumos alkalmazások szempontjából lényeges paraméterek mindegyike rendelkezésre áll egy kompakt olvasófejben.

Gyorsabb és egyszerűbb beépítés

Az olvasófejen lévő beállító LED vizuálisan jelzi a jel méretét, az opcionális diagnosztikai készlet pedig lehetővé teszi a rendszerteljesítmény távoli ellenőrzését, amikor az olvasófej a gép munkaterében van. A referenciajel és az inkrementális jelek kalibrálása egy gombnyomással történik mindenféle mechanikai beállítás vagy további diagnosztikai eszközök nélkül. A felhasználó által kiválasztható IN-TRAC optikai referenciajel az inkrementális skálába van beágyazva a kompakt kivitel és egyszerű beállítás érdekében. Ezzel olyan referenciajel nyerhető, amely a felbontás egységének megfelelő ismétlési pontosságot garantál a teljes üzemi hőmérsékleti és sebességtartományban, mindkét irányban.

Interfész-opciók

TD (kettős felbontású) interfész

  • Választható kettős felbontású négyszögjel-kimenet.
  • Ideális olyan alkalmazások esetén, amelyeknél nagy sebességű és precíziós mozgás kombinációja szükséges.
Ti interfész (négyzet)

DOP (kettős kimenetű) interfész

  • Egyidejű digitális négyszögjeleket és 1 Vpp jeleket biztosít.
  • Egy vagy több művelet mozgótengellyel történő szinkronizálását igénylő alkalmazásokhoz készült.TONiC kettős kimenetű (DOP) interfész

DSi (Kettős jeles interfész)

  • A Renishaw DSi két TONiC olvasófej inkrementális jelét kombinálja egy RESM20 gyűrűn (részleges körpályás alkalmazásokban REST20 gyűrűn), hogy kompenzálja a csapágyak játékának hatását, és kiküszöböli a páratlan harmonikus jelekből adódó hibákat, ideértve az excentricitást, ezáltal az I beépítés utáni pontosság jellemző értéke mindössze ±2,0 szögmásodperc.TONiC Kettős jeles interfész RESM forgójeladó-gyűrűvel

Külön rendelhető diagnosztikai készlet

TONiC™ diagnosztikai készlet (szoftver és hardver)

A TONiC diagnosztikai szoftver segítségével optimalizálható a TONiC útmérők telepítése, és a rendszer gyors és átfogó módon kalibrálható. A szoftvert a TONiC diagnosztikai hardverrel együtt kell használni, amely A-9411–0011 cikkszámon szerezhető be a Renishaw-tól. A hardver USB-kábellel (a készlet tartalmazza) csatlakoztatható a számítógéphez, vagy sorosan az ügyfelek elektronikai rendszeréhez.

Tudjon meg mindent a TONiC diagnosztikai készletről.

Műszaki adatok

Mérési szabvány

RESM20: egy darabból álló, lapos kivitelű, rozsdamentes acélgyűrű. Normál „A” metszetű, kúpos belső átmérőjű, vagy kis tehetetlenségű „B” metszetű

Részleges körpályás alkalmazásokhoz használható REST20 verzióban is kapható

Olvasófej mérete (H x M x Sz)

35 mm x 13,5 mm x 10 mm

Skálaosztás

20 μm

Hőtágulási együttható 20 °C-on15,5 ±0,5 μm/m/°C

Gyűrű külső átmérője

52–550 mm. Nagyobb, egyedi méretért forduljon a Renishaw-hoz

Osztásszám

8192–86 400 (gyűrűmérettől függően)

Referenciajel

RESM20: egyetlen IN-TRAC referenciajellel ellátott gyűrű

REST20: két referenciajeles gyűrű részleges körpályás alkalmazásokhoz

Pontosság*

Beosztás pontossága

Rendszer pontossága


±3,97 és ±0,38 szögmásodperc között (gyűrűátmérőtől függően)

±4,20 és ±0,40 szögmásodperc között (gyűrűátmérőtől függően)

Maximális sebesség

Analóg

Digitális

(A részleteket lásd az adatlapon)

3673 ford./perc -3 dB mellett (52 mm-es RESM20 esetén)

3673 ford./perc (5 μm-es felbontású TONiC útmérő 52 mm-es RESM20 skálán)

Osztás alatti hiba (SDE)

Jellemzően < ±30 nm

Dinamikus jelvezérlés

Valós idejű jelkondicionálás, ideértve az automatikus erősítésszabályozást (AGC) és automatikus eltolásszabályozást (AOC) az optimális üzemi teljesítmény érdekében

Inkrementális jelek

Analóg

Digitális

(A szögfelbontás részletes adatait lásd az adatlapon)

1 Vpp (20 μm-es periódus)

Felbontás 5 µm-től 1 nm-ig

Elektromos csatlakozás

0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m és 10 m kábelhossz mini csatlakozóval (közvetlenül a TONiC interfészhez csatlakozik)

Tápellátás

5 V ±10%, < 100 mA (analóg rendszer), < 200 mA (digitális rendszerek) (lezáratlan)

Az olvasófej energiafogyasztása< 100 mA

Rezgés (üzem közben)

max. 100 m/s2 55–2000 Hz-en

Ütés (üzemen kívül)

1000 m/s2, 6 ms, ½ szinusz

Üzemi hőmérséklet (rendszer)

0 °C és +70 °C között

Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül)

120 °C (Csak olvasófej és skála)

Tömítés

Olvasófej: IP20

Interfész: IP20

Kábel felépítése

Ónozott, rézfonatos egyszeres árnyékolás, FEP-magos szigetelés


* A rendszer pontossága a beosztási hiba és az SDE összege. A beosztási pontosság az egy olvasófej által mért szögelfordulás és az útmérő beosztás szerinti valódi elforgása közötti különbség. Az alkalmazási körülményekből adódó zavarokat, mint például az excentricitást, nem tartalmazza.

A részleteket lásd az adatlapokon.