RESOLUTE™ UHV abszolút útmérő rendszer RELA30 lineáris skálával

Jellemzők

  • Soros interfészek: BiSS® C, Panasonic
  • Olvasófej mérete: 36 x 16,5 x 17,2 mm
  • 1 nm-ig terjedő felbontás 100 m/s mellett
  • ±1 µm pontosság 20 °C-on
  • A skála hőtágulási együtthatója 20 °C-on: 0,75 ±0,35 µm/m/°C

Előnyök

  • Kiváló pontosság és „közel nulla” hőtágulás egyetlen egységben
  • Kis mértékű gázkieresztés vákuumos környezetekben
  • 10 nm-nél is kisebb RMS remegés a jobb helyzetstabilitás érdekében
  • ±40 nm osztás alatti hiba a finom sebességszabályozásért
  • Opcióként kapható professzionális diagnosztikai eszköz
Átlátszó mező az oldalon lévő hirdetőszalagok számára

Mi a RESOLUTE UHV?

A RESOLUTE UHV lehetővé teszi az abszolút útmérős technológia használatát a rendkívül magas vákuummal jellemezhető alkalmazásokban, így az ügyfelek nagyobb termelékenységet érhetnek el, csökken a károsodás kockázata, és nő a megbízhatóság.

A RESOLUTE az összes többi, UHV-környezethez tervezett abszolút útmérő teljesítményét felülmúlja. Az akár 100 m/s sebesség mellett is 1 nm felbontásra képes RESOLUTE műszaki jellemzői új megközelítést jelentenek az útmérő-technológiában.

A Queen’s Award for Enterprise: Innovation 2015 díj

A Queen’s Award for Enterprise díj nyertese 2015-ben az Innováció kategóriában

Mi a RELA30 skála?

A RELA30 egy ZeroMet-ből, vagyis alacsony tágulási együtthatójú nikkel-vas ötvözetből készült, 30 µm osztású, merev skála, abszolút skálakóddal.
A skála a finom osztású üvegskálákkal összevethető, és teljes pontossága (beleértve a ferdeséget és linearitást is) 1 m hosszon jobb, mint ±1 µm. A ZeroMet hőtágulási együtthatója körülbelül 0,75 ±0,35 µm/m/°C 20 °C hőmérsékleten.
A rögzítési követelmények teljesítése érdekében a rendszertervezők a speciálisan kialakított, UHV-kompatibilis ragasztószalag vagy mechanikus kapcsok közül választhatnak. Mindkét rögzítési módszer lehetővé teszi, hogy a hőtágulás független legyen a hordozó felületétől.

Miért ez az útmérő rendszer az ideális megoldás?

Könnyű hibakeresés és szervizelés

Az ADTa-100 professzionális diagnosztikai eszköz átfogó, valós idejű adatokat fogad a RESOLUTE™ útmérők olvasófejeiből. Az adatok az ADT View szoftver felhasználóbarát kezelőfelületén jelennek meg. Míg a legtöbb esetben az útmérőbe épített beállító LED elegendő a rendszer beállításához, az ADT a bonyolultabb telepítési munkák megkönnyítésére használható. Ezenkívül az ADT az útmérő teljesítményéről is küld információkat és a rendszerszintű hibakeresésben is részt vesz, így elkerülhető a gépeknél a hosszabb állásidő.

UHV (rendkívül magas vákuum mellett)

A RESOLUTE UHV a Renishaw forradalmi abszolút útmérős technológiáját egy olyan olvasófejbe építve kínálja, amely akár 10 -9 Torr vákuumban is használható. A RESOLUTE UHV útmérők új sorozata tiszta maradékgázokkal (RGA) rendelkező anyagokból készül, így nagy teljesítményű, félvezető-ipari és tudományos alkalmazásokban is használható.

Széles beállítási tűrések

A RESOLUTE UHV gyökeresen eltér a két, egymás mellett elhelyezett útmérőpályát (egy inkrementális és egy abszolút pályát) alkalmazó hagyományos technikától, amelynél – a rendszer jellegéből fakadóan – kis szögelfordulások esetén fáziseltérési problémák jelentkeznek. Ehelyett ez az abszolút útmérő egypályás, optikai abszolút skálát tartalmaz, amely egy kódban egyesíti az abszolút pozíciót és a beágyazott fázisinformációt. Ennek a technológiának köszönhetően a RESOLUTE UHV rendszert jóval szélesebb konfigurációs tűréshatár-tartomány jellemzi (a merőleges tengelyhez képesti szögeltérés tűrése ±0,5°), ami gyors és egyszerű telepítést és kitűnő hosszú távú megbízhatóságot garantál még akkor is, ha a mozgástengelyek idővel beállnak vagy elmozdulnak. A telepítéshez és diagnosztizálás során további segítséget nyújt az olvasófejbe épített beállító LED.

Opcionális ADTa-100 professzionális diagnosztikai eszköz

ADTa-100 professzionális diagnosztikai eszköz

A RESOLUTE útmérő rendszer kompatibilis az ADTa‑100 professzionális diagnosztikai eszközzel és az ADT View szoftverrel. Átfogó, valós idejű útmérő adat-visszacsatolást biztosítanak, segítve a komolyabb telepítési és diagnosztikai kihívást jelentő feladatokat. Az intuitív szoftveres kezelőfelület az alábbiakra használható:

  • Távoli kalibrálás
  • Jeloptimalizálás a teljes tengelyhosszon
  • Az útmérő pozíciójának digitális kiolvasása (a skálához képest)
  • Adatok exportálása és mentése
  • Nullpont beállítása

Soros interfészek

Soros interfészekMegnevezésTermékismertetőKompatibilis termékek
BiSS C

A Renishaw támogatja az abszolút útmérőkhöz kifejlesztett (egyirányú) BiSS C nyílt protokollt. A BiSS C egy nagy sebességű soros interfész, mely tökéletes megoldás nagy gyorsulást, finom sebességszabályozást, kiváló ismétlőképességet és sziklaszilárd helyzetstabilitást igénylő dinamikus tengelyekhez.
A RESOLUTE és a BiSS C együtt lineáris és forgó (szög-) jeladós változatban is kapható, amelyek kompatibilisek az ipari szabványoknak megfelelő vezérlők, hajtások, DRO modulok és PC csatolókártyák széles körével.

RESOLUTE BiSS C

BiSS C kompatibilis termékek oldala

Panasonic

A RESOLUTE a soros Panasonic interfésszel lineáris és forgó változatban is elérhető. Az A5 és A6 sorozatú hajtásokkal kompatibilis, és nagy felbontású és ismétlési pontosságú visszacsatolást biztosít a jobb szervo- és sebességvezérléshez.

RESOLUTE Panasonic

N/A

Műszaki adatok

Mérési szabvány

Abszolút kódolású, nagy pontosságú ZeroMet merev skála

Olvasófej mérete (H x Sz x M)

36 mm x 16,5 mm x 17,2 mm

Skálaosztás

30 μm, névleges

Hőtágulási együttható 20 °C-on

0,75 ±0,35 μm/m/°C

Pontossági osztály 20 °C-on

Tanúsítás szerint ±1 μm, a kalibrálás nemzetközi szabványokra vezethető vissza

Skála hossza

Egyes, BiSS C protokollokkal használható változatok maximális hossza korlátozott

(A részleteket lásd az adatlapon)

80 mm – 1,5 m

Maximális sebesség

(A részleteket lásd az adatlapon)

Max. 100 m/s

Soros interfészek*

BiSS C, Panasonic

Felbontások

BiSS C: 50 nm, 5 nm és 1 nm felbontás

Panasonic: 100 nm, 50 nm és 1 nm felbontás

Osztás alatti hiba (SDE)

±40 nm

Elektromos csatlakozás

10 m maximális kábelhossz, szereletlen vezetékkel

Tápellátás

5 V ±10%, max. 250 mA 5 V feszültségen (ellenállással lezárt)

Rezgés (üzem közben)

max. 100 m/s2 55–2000 Hz-en

Ütés (üzemen kívül)

1000 m/s2, 6 ms, ½ szinusz

Üzemi hőmérséklet

0 °C és +75 °C között

Kifűtési hőmérséklet (üzemen kívül)

120 °C

Tömítés

IP30

Kábel felépítése

Ezüstbevonatú, rézfonatos, egyszeres árnyékolás. FEP-magos szigetelés ónbevonatos réz vezetéken.

A részleteket lásd az adatlapokon.

*A soros interfészek körét folyamatosan bővítjük.