Lézeres útmérőkkel kapcsolatos szószedet

Abbe-hiba

Abbe-hiba akkor jelentkezik, amikor az útmérő tengelye nem esik egybe a munkatengellyel. Ha az állvány a vízszintes síkhoz vagy a merőleges tengelyhez képest ferde, a munkadarab mozgása nem fog megegyezni az útmérő által mutatott értékekkel. A d eltérése és az állvány θ vízszintes síkhoz képesti dőlése esetén az eredő Abbe-hiba: Abbe-hiba = d × szinusz θ.

Pontosság

A pontosság egy minőségi jellemző, amely azt fejezi ki, hogy egyezik-e az adott tárgy mért és valódi (cél- vagy referencia-) értéke.

Nyalábosztó

A nyalábosztó olyan optikai készülék, amely a fénynyalábot két vagy több részre osztja. Ez a legtöbb interferométeres rendszer legfontosabb alkatrésze.

Kompenzáció

Az útmérő kimenő pozíciójelének módosítása a pozícióhibák korrigálása érdekében.

Erősítő interferencia

Erősítő interferencia akkor jelentkezik, ha két azonos fázisú és frekvenciájú fényhullámot egyesítünk egy, a különálló nyaláboknál nagyobb fényerősségű eredő nyaláb létrehozásához. (Lásd még kioltó interferencia).

Kioltó interferencia

Kioltó interferencia akkor jelentkezik, ha két azonos frekvenciájú, de ellentétes fázisú fényhullámot egyesítünk egy, a legerősebb nyalábnál kisebb fényerősségű eredő nyaláb létrehozásához. (Lásd még erősítő interferencia).

Frekvencia

A frekvencián az egységnyi idő alatt megismétlődő események számát értjük. A frekvencia kiszámításához lemérjük a két egymást követő esemény közötti időt (azaz a periódust), majd ennek a reciprokát vesszük. Az eredmény mértékegysége a hertz (Hz), f = 1/T.

A hang, az elektromágneses hullámok (rádióhullám vagy fényhullám), az elektromos jelek vagy más hullámok frekvenciájának hertzben mért értékén a hullámforma egy másodperc alatti ismétlődéseinek számát értjük. A frekvencia és a hullámhossz fordítottan arányos egymással. Az f frekvencia egyenlő a hullám v sebességének és λ (lambda) hullámhosszának hányadosával: f = v/λ.

Frekvenciastabilitás

A lézer frekvenciájának ingadozását adja meg.

Levegőben

Olyan három dimenziós tér, amelyet levegő tölt ki.

Interferencia

Az interferencia az a jelenség, amikor két vagy több hullám egymásra szuperponálódik, és ezzel új hullámalakot ad. A fogalom a leggyakrabban használt értelmezésében olyan hullámok interferenciáját jelenti, amelyek egymással korrelálnak vagy koherensek, vagy azért, meg ugyanabból a forrásból származnak, vagy azért, mert azonos vagy közel azonos a frekvenciájuk. (Lásd még erősítő interferencia, kioltó interferencia).

Interpoláció

Az interpoláció révén egy ismert diszkrét adatponthalmaz alapján új adatpontok hozhatók létre. A pozíciószabályozásban ez jellemzően azt jelenti, hogy egy analóg pozíciójelet elosztunk egy fix tényezővel, hogy diszkrét digitális jelet kapjunk.

Interpolátor

Az interpolátor egy elektronikus készülék, amely az analóg pozíciójelet elosztja és diszkrét digitális értékké alakítja az alkalmazott interpolációs tényező alapján. Ha például egy 4096-os interpolátort egy 158 nm-es periódusú analóg jelen használunk, akkor 38,6 pikométeres felbontású eredményt kapunk.

Lissajous

A Lissajous egy szinusz- és koszinuszjelek megjelenítésére szolgáló módszer, amely a jeleket trigonometriai műveletekkel kör alakba rendezi. Egy fejlett jelfeldolgozási séma révén a körön elhelyezkedő pontok matematikai tulajdonságai számos jellemzőt tartalmaznak az interferométer működéséről, úgymint a jelerősség és az adott pont pozíciója az adott pillanatban.

OEM (eredetiberendezés-gyártó)

Az eredetiberendezés-gyártó olyan alkatrészeket vagy alrendszereket gyárt, amelyek más gyártók végtermékeiben kerülnek felhasználásra.

Fázis

A hullám fázisa egy adott jellemző két előfordulása között teremt kapcsolatot a hullámalak két különböző pozíciójában (illetve ehhez hasonlóan egy másik hullámalakban). A fázis időtartamként, távolságként, a hullámhossz részeként vagy szögként mérhető.

Négyszögjel

E fogalom alatt olyan digitális soros pozíciójel értünk, amelyet két vezeték továbbít, és minden élátmeneten kijelöl egy pozíciót. Ilyen élátmenet a fázis 90º-os intervallumaiban jelentkezik, tehát a teljes 360º megtétele során 4 élátmenet történik. A fogalom neve tehát azért négyszögjel, mert 4 pontot jelöl ki. A másik neve AQuadB, amely arra utal, hogy egy A és egy B vezeték használatos a jel kiadására. A jel általában egy RS422 AQuadB, és egy standard soros protokoll az útmérő pozíció-visszacsatolásához. Ez a jel használható szinusz és koszinusz jelek definiálásához is, amelyet „fázis-négyszögjelnek” szokás nevezni.

Törésmutató

A törésmutató a fény levegőre érvényes terjedési sebességének és az adott fénytörő tulajdonságú közegre érvényes sebességének aránya adott hullámhossz esetén. A fogalom a levegő fénytovábbítási tulajdonságait mutatja, és olyan jellemzők befolyásolják, mint a levegő hőmérséklete, relatív páratartalma és nyomása.

Felbontás

Egy útmérő felbontása az a legkisebb távolság, amelyet a készülék észlelni és egy megfelelő vevőegységnek átadni képes.

Osztás alatti hiba (SDE)

Nem kumulálódó hiba, amelyet általában a Lissajous körkörösségi hibája okoz.

Vákuum

A vákuum olyan háromdimenziós tér, amelyből részlegesen vagy teljesen eltávolították a levegőt. Többféle szintű vákuum létezik:

• Durva vagy alacsony vákuum – 1 Torr és 1 mTorr között
• Közepes vákuum – 1 mTorr és 10 μTorr között
• Nagy vákuum – 1 μTorr és 10 nTorr között
• Ultranagy vákuum – kevesebb mint 1 nTorr

Ahol: 1 Torr = 133,322 pascal. 1 atmoszféra (tengerszinten) = 101,325 kPa = 760 Torr

Hullámhossz

A hullámhossz a hullámalak két ismétlődő egysége közötti távolságot adja meg. Rendszerint a görög ábécé lambda (λ) betűjével jelölik. Szinuszhullám esetén a hullámhossz a csúcsok közötti távolság. A λ hullámhossz fordítottan arányos az f frekvenciával, azaz az adott idő alatt adott ponton áthaladó csúcsok számával. A hullámhossz a hullám sebességének és frekvenciájának hányadosával egyenlő.